日立(Hitachi)臺式掃描電子顯微鏡TM4000PlusIII/TM4000III的特點：
★節(jié)省人力成本，降低操作技術(shù)難度
▲多樣品自動化觀察：觀察工作流程的自動化功能（TM4000PlusIII）
可以作為程序保存樣品臺移動、倍率變更、拍照等觀察流程。程序化的觀察流程，一鍵單擊即可自動執(zhí)行操作。
為不同類型客戶（如日常使用量較多，需進(jìn)行多樣品觀察的客戶，對觀察條件不確定的客戶等）節(jié)省人力成本，降低操作技術(shù)難度。
▲實現(xiàn)快速自動顆粒分析：大電流功能 + AZtecLiveLite 顆粒分析功能
工業(yè)產(chǎn)品的清潔度分析和使用過濾膜收集顆粒并進(jìn)行自動分析的測量顆粒較多，因此需要的分析時間較長。
TM4000PlusIII配有全新的大電流模式，支持牛津儀器公司的能譜探測器，以及AZtecLiveLite顆粒分析功能包，從而可以實現(xiàn)快速的顆粒分析。
★設(shè)備管理更有規(guī)劃性
▲日常維護：燈絲監(jiān)控
搭載燈絲監(jiān)測功能，可在需要更換燈絲時發(fā)出提示。
多人使用設(shè)備時，可減少突然燈絲燒斷導(dǎo)致更換燈絲的擔(dān)憂，從而可以更合理的規(guī)劃使用設(shè)備。
▲自動檢查儀設(shè)備狀態(tài)：AutoOQ（Auto Operational Qualification)
此功能可查看SEM狀態(tài)報告，可掌握設(shè)備狀態(tài)并共享給服務(wù)工程師。
★作為全新教學(xué)設(shè)備
▲洞察無需樣品前處理的微觀世界：低真空功能 + 高靈敏度背散射電子探測器
可以直接觀察各種樣品（如植物、礦石、食品等）的顯微圖像，
TM4000PlusIII/TM4000III的低真空功能減少了樣品前處理過程，通過高靈敏度的背散射電子探測器可快速獲取圖像。
▲作為Python編程教學(xué)演示設(shè)備：觀察工作流程的自動化功能（TM4000PlusIII）
培養(yǎng)并保障數(shù)字化人才是全球重要的課題之一。
TM4000PlusIII的自動化功能中融入了“順序語句”“循環(huán)語句”“條件語句”等編程中重要的概念，通過TM4000PlusIII操作可以體驗學(xué)習(xí)編程。
(Hitachi)日立臺式掃描電子顯微鏡TM4000PlusIII/TM4000III規(guī)格：
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項目 |
TM4000PlusIII |
TM4000III |
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倍率 |
×10～×100,000（照片倍率） |
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加速電壓 |
5 kV、10 kV、15 kV、20 kV |
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圖像信號 |
背散射電子 |
背散射電子 |
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真空模式 |
導(dǎo)電體（僅背散射電子） |
標(biāo)準(zhǔn) |
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樣品可移動范圍 |
X：40 mm Y：35 mm |
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大樣品尺寸： |
80 mm（直徑） 50 mm（厚度） |
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電子槍 |
預(yù)對中鎢燈絲電子槍 |
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檢測器 |
背散射電子：高感度4分割 背散電子檢測器 |
背散射電子：高感度4分割 背散射電子檢測器 |
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排氣系統(tǒng) |
渦輪分子泵：67 L/s 1臺 |
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馬達(dá)臺 |
自動馬達(dá)臺 |
手動樣品臺 |
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尺寸與重量 |
主機：330（寬）×614（縱深）×547（高）mm 55 kg |
330（寬）×617（縱深）×547（高）mm 53 kg |
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隔膜泵：144（寬度）×270（縱深）×216（高度）mm |
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